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產(chǎn)品資料

Teledyne API臭氧發(fā)生器

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產(chǎn)品名稱: Teledyne API臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號: SCI-552
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552 SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。


Teledyne API臭氧發(fā)生器  的詳細(xì)介紹

Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552

SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。


Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552基于軟硬件特點(diǎn)，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個(gè)系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。



  • RS-232 MODBUS遠(yuǎn)程支持
  • *多控制2臺臭氧發(fā)生器Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
  • *多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
  • *多控制4臺質(zhì)量流量控制器
  • *多控制2臺背壓控制器
  • *多控制2個(gè)EV閥
  • *多控制1臺水冷卻器
  • 系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
  • 遠(yuǎn)程系統(tǒng)級別控制和狀態(tài)輸入/輸出

  • 化學(xué)氣相沉積(CVD)Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
  • 原子層沉積(ALD)
  • 氧化物生長
  • 表面處理
  • 灰化
  • 粒子清潔
  • 光刻膠去除
  • 其他


更多Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552信息請直接致電埃登威上海021-55581219

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