日本AMAYA天谷制作所株式會社常壓CVD設(shè)備AMAX800V

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簡單介紹

日本AMAYA天谷制作所株式會社常壓CVD設(shè)備AMAX800V具有極端連續(xù)型的高生產(chǎn)率常壓CVD設(shè)備AMAX800V8英寸每小時 100 張的高吞吐量使用SiC托盤的重金屬污染對策和長期穩(wěn)定的工藝提高可維護性特征通過改進輸送機構(gòu)實現(xiàn)了高吞吐量。SiH4，PH3，B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合并表面反應(yīng)，優(yōu)化后在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均

日本AMAYA天谷制作所株式會社常壓CVD設(shè)備AMAX800V 的詳細介紹

日本AMAYA天谷制作所株式會社

常壓CVD設(shè)備AMAX800V

具有極端連續(xù)型的高生產(chǎn)率常壓CVD設(shè)備

通過改進輸送機構(gòu)實現(xiàn)了高吞吐量。
SiH4，PH3，B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合并表面反應(yīng)，優(yōu)化后在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
使用SiC托盤很難發(fā)生重金屬污染。此外，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
標(biāo)配自動托盤更換功能，實現(xiàn)工人**，縮短維護時間。此外，自動抬起頭部底座的機構(gòu)便于清潔。