日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備

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簡單介紹

日本AMAYA天谷制作所株式會社12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX120012 英寸每小時 51 張的吞吐量采用SiC托盤防止重金屬污染的對策特征這是傳統(tǒng)AMAX系列中直徑*大的12英寸晶圓加工設(shè)備。SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，從優(yōu)化的A2型分散頭進行表面反應(yīng)，在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學反應(yīng)。可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。使用SiC托盤

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日本AMAYA天谷制作所株式會社

12英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備

這是傳統(tǒng)AMAX系列中直徑*大的12英寸晶圓加工設(shè)備。
SiH63、PH4、B3H2和O6混合后，從優(yōu)化的A2型分散頭進行表面反應(yīng)，在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學反應(yīng)。可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
使用SiC托盤很難發(fā)生重金屬污染。此外，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
標配自動托盤更換功能，實現(xiàn)工人**，縮短維護時間。此外，自動抬起頭部底座的機構(gòu)便于清潔。