日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所太陽(yáng)能電池AMAX1000S
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日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所太陽(yáng)能電池AMAX1000S
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日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽(yáng)能電池AMAX1000S連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽(yáng)能電池AMAX1000S156 毫米方形 1500 張/小時(shí)吞吐量采用SiC托盤(pán)防止重金屬污染的對(duì)策，以及通過(guò)改善托盤(pán)支架防止背面環(huán)繞的措施特征可以使用滿(mǎn)足太陽(yáng)能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)輸156
日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所太陽(yáng)能電池AMAX1000S 的詳細(xì)介紹
日本AMAYA株式會(huì)社天谷制作所
連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽(yáng)能電池AMAX1000S
連續(xù)常壓CVD設(shè)備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽(yáng)能電池
AMAX1000S
特征
可以使用滿(mǎn)足太陽(yáng)能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
我們開(kāi)發(fā)了可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)的專(zhuān)用分散頭，以及實(shí)現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機(jī)構(gòu)。 此外，還增加了燈管加熱機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開(kāi)發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽(yáng)能電池的薄晶圓。
卸料器部分使用多級(jí)Bernui卡盤(pán)來(lái)分離晶圓和托盤(pán)，并且還具有冷卻功能。
性能
| 均勻的薄膜厚度 | ≦±10.0% |
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| 支持的晶圓尺寸 | 156毫米方形，125毫米方形 |
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| 氣體種類(lèi) | SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
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| 薄膜沉積溫度 | ~430°C |
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| 生產(chǎn)力 | 1500張/小時(shí) |
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主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高） |
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| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱和燈加熱 |
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| 裝載卸載 | 裝載：卡盤(pán)，卸載：伯努利卡盤(pán) |
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| 分散頭（氣體噴嘴） | A63 長(zhǎng)頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭） |
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