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ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

一、引言

在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣體的純凈度對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性至關(guān)重要。其中，微量氧氣的存在可能會(huì)對(duì)半導(dǎo)體材料的性質(zhì)和性能產(chǎn)生重大影響。因此，**測(cè)量氣體中的微量氧含量成為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的重要環(huán)節(jié)。ADEV微量氧分析儀正是為滿足這一需求而設(shè)計(jì)的高精度儀器。為確保其測(cè)量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，定期的校準(zhǔn)工作不可或缺。ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

二、校準(zhǔn)內(nèi)容

  1. 濃度零點(diǎn)校準(zhǔn)：
    • 微量氧分析儀的濃度零點(diǎn)是其測(cè)量的下限，一般情況下默認(rèn)為00.1ppm。實(shí)際上，**的0是很難達(dá)到的，因此通常采用濃度非常低的氣體作為標(biāo)準(zhǔn)。
    • 在校準(zhǔn)過(guò)程中，采用高純氬或高純氮，其氧濃度小于1.0PPM，作為濃度零點(diǎn)氣。
    • 通入微量氧分析儀中，調(diào)整濃度零點(diǎn)到00.1PPM。ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用
  2. 濃度量程校準(zhǔn)：
    • 微量氧分析儀的濃度量程是其測(cè)量的上限，一般默認(rèn)為21.0%（空氣）。
    • 量程與零點(diǎn)的差異越小，儀器的線性度越好。用戶可以根據(jù)自己的工況來(lái)確定合適的濃度量程。
    • 通入微量氧分析儀中，調(diào)整濃度量程到需要的示數(shù)。

三、誤差范圍與校準(zhǔn)重要性ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的校準(zhǔn)應(yīng)用

微量氧分析儀的誤差范圍是指在特定工作條件下，其測(cè)量值與實(shí)際值之間的*大允許偏差。為確保微量氧分析儀的準(zhǔn)確性和可靠性，必須注意其正確安裝和使用，并定期進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)整。特別是在半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)氣體純度的要求極為嚴(yán)格，任何微小的誤差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量的下降或生產(chǎn)工藝的不穩(wěn)定。

四、結(jié)論

ADEV微量氧分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用中，不僅提供了高精度的測(cè)量，而且通過(guò)定期的校準(zhǔn)，確保了測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。這對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量控制和工藝穩(wěn)定性至關(guān)重要。通過(guò)本文介紹的校準(zhǔn)方法，用戶可以輕松地完成儀器的校準(zhǔn)工作，為半導(dǎo)體的生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

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