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ADEV六氟乙烷微量水檢測(cè)：新隊(duì)員加入，守護(hù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

ADEV六氟乙烷微量水檢測(cè)：新隊(duì)員加入，守護(hù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量

六氟乙烷，化學(xué)式為C2F6，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中備受青睞的化合物。其出色的化學(xué)穩(wěn)定性、微溶于水的特性、不易燃性以及高溫下的穩(wěn)定性，使其在眾多應(yīng)用中脫穎而出。但正如每個(gè)硬幣都有兩面，六氟乙烷在與可燃?xì)怏w共同燃燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生有毒的氟化氫，因此，安 全操作至關(guān)重要。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的每一個(gè)環(huán)節(jié)，六氟乙烷都發(fā)揮著不可替代的作用：從干法蝕刻到化學(xué)氣相沉積，再到等離子體處理和離子注入，直至光刻膠剝離，它都是不可或缺的角色。ADEV六氟乙烷微量水檢測(cè)：新隊(duì)員加入，守護(hù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量

ADEV六氟乙烷微量水檢測(cè)：新隊(duì)員加入，守護(hù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量，然而，如此重要的化合物，其純度與穩(wěn)定性更是關(guān)鍵。微量水分可能會(huì)威脅到六氟乙烷的純度與應(yīng)用效果。舉例來(lái)說(shuō)，若用于半導(dǎo)體制造的六氟乙烷中含有水分，那么蝕刻效果、薄膜的生長(zhǎng)及材料的表面性能都可能受到**影響。鑒于此，對(duì)六氟乙烷中的微量水進(jìn)行**檢測(cè)成為了行業(yè)內(nèi)的迫切需求。

為了滿足這一需求，ADEV推出了全新的微量水分析儀。這款分析儀采用了五氧化二磷（P2O5）原理的微量水探頭，專門用于測(cè)量氣體中的水分含量。探頭設(shè)計(jì)的精妙之處在于其高科技的固態(tài)計(jì)算電路，它能準(zhǔn)確、穩(wěn)定地測(cè)量電解電流，進(jìn)而確定水分含量。這種探頭的靈敏度極高，幾個(gè)ppm的水分含量都能被準(zhǔn)確檢測(cè)出來(lái)，無(wú)疑成為了氣體中微量水分檢測(cè)的理想工具。ADEV六氟乙烷微量水檢測(cè)：新隊(duì)員加入，守護(hù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量

ADEV的這款新設(shè)備就如同一個(gè)守護(hù)神，確保六氟乙烷的純度與應(yīng)用效果達(dá)到預(yù)期，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定生產(chǎn)與質(zhì)量提供保障。在未來(lái)的日子里，我們期待ADEV繼續(xù)為行業(yè)帶來(lái)更多**與突破。

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