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Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

tigeroptics HALO KA微量水分分析儀小巧、實(shí)惠、功能強(qiáng)大,為您帶來:

在一系列氣體中檢測濕度的萬億分之一(ppt)

體積小

**測量(無需校準(zhǔn))

成本低,操作容易Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

廣泛的動(dòng)態(tài)范圍-超過4個(gè)數(shù)量級(jí)

包括:速度+性能升級(jí)智能動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)處理提高了分析儀的響應(yīng)速度,同時(shí)保持了低噪聲性能.

tigeroptics HALO KA微量水分分析儀技術(shù)參數(shù)

操作范圍 請參閱圖片

*低測量極限 請參閱圖片

靈敏度(σ) ±0.75% or 1/3 of LDL

精度(取大值) ±4% or LDLTigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

響應(yīng)速度 <3分鐘 to 95%

環(huán)境要求 10℃-40℃ , 30℃-80% RH(non-cond)

儲(chǔ)存溫度 -10℃--50℃

內(nèi)部管路材料 316L不銹鋼(選配:哈氏合金Hastelloy)10Ra表面光潔度

氣體接口 1/4“ male VCR入口和出口Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

泄露測試 1×10-9 mbar 1/sec

入口氣體壓力 10-125psig(1.7-9.6bar)

流量 0.05--1.8slpm

樣品氣體 惰性氣體、有毒氣體、活潑或腐蝕性氣體

更多Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用信息請直接致電埃登威上海021-55581219

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